擴(kuò)散泵是一種獲得高真空的設(shè)備，目前僅限于5級泵。抽速高，效率高，可用于繁忙抽提。常見的真空鍍膜、抽速高而大型的設(shè)備，真空鍍膜機(jī)的一個重要組成部分是采用擴(kuò)散泵進(jìn)行抽真空。大部分都是大型設(shè)備，所以成本會相對較高。因此，大多數(shù)企業(yè)都非常重視真空沉積機(jī)擴(kuò)散泵的維護(hù)。下面由真空小編為大家提供擴(kuò)散泵的保養(yǎng)和方法的詳細(xì)介紹:

真空沉積機(jī)

首先，擴(kuò)散泵的冷卻水在運(yùn)行過程中必須是穩(wěn)定的。停止加熱后，待泵的工作液完全冷卻后，再關(guān)閉冷卻水。

其次，擴(kuò)散泵停止工作時，應(yīng)保持在真空狀態(tài)，防止泵油變質(zhì)。

第三，被抽的氣體應(yīng)干燥、無腐蝕性、無塵。

第四:如果擴(kuò)散泵暫時不使用，應(yīng)在真空狀態(tài)下存放，以避免泵油污染和腐蝕各部件，并將冷卻水套內(nèi)殘留的水吹凈。將室溫保持在10到40攝氏度之間。

第五:擴(kuò)散泵長期運(yùn)行后性能會逐漸變差，應(yīng)定期檢查。例如，泵油是否已被還原或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換;零件和泵腔應(yīng)先用氬氣清洗，然后用丙酮擦洗，80-100℃干燥或用吹風(fēng)機(jī)吹干。加工后依次組裝，保持泵芯與泵底垂直，泵腔同心，并按原要求調(diào)整各級噴嘴間隙。

第六:待水蒸發(fā)干燥后，安裝泵芯，加入新的擴(kuò)散泵油，并安裝回機(jī)體，連接水管，安裝爐板重新啟動。